标签：掩模

芯片路线图，或被颠覆

制造先进逻辑芯片的过程始于电路设计，涉及从晶体管到系统设计的多层次步骤。设计图案通过电子束掩模写入设备（如可变形状束和多光束掩模写入机）被写入光掩...

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1天前