标签：制程微缩

不用EUV，也能做3nm？

半导体产业在过去几十年中依赖光刻能力的演进实现制程微缩，但光刻技术正变得愈发昂贵且复杂。随着工艺制程不断精进，晶圆价格直线攀升，先进制程图形化难度...

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4小时前