标签：良率管控

东方晶源：三大创新点工具破解先进制程良率瓶颈

随着芯片工艺向先进节点快速演进，制程技术逼近物理极限，设计与制造环节的协同难度显著加大。图形化（Patterning）相关的系统性良率损失已成为制约晶圆厂研...

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7小时前