揭秘先进制程生产自动化:第四代AMR的物流效率革命

AIGC动态3周前发布 admin
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揭秘先进制程生产自动化:第四代AMR的物流效率革命

 

文章摘要


【关 键 词】 半导体自动化AMR柔性作业智能物流

半导体晶圆厂中,自动化技术的快速发展推动了移动机器人(AMR)的广泛应用。从初代的导轨式机器人到第三代集群作业的AMR矩阵,这些技术的演进促进了从硬件性能优化到整厂智能化系统的转变。AMR因柔性、灵活、高效等特点,逐渐取代传统的天车系统,成为晶圆厂自动化物流的新趋势。

初代AMR沿着固定轨道移动,缺乏灵活性,而第二代通过激光导航技术实现了无轨自由移动,提高了作业效率。然而,这两代机器人在处理复杂任务时仍受限制,主要以单机作业为主。第三代AMR则通过集群协同作业,实现了从单机柔性到集群柔性的转变,显著提升了晶圆厂的物流效率。

第三代AMR的集群调度能力,使得百台级机器人能在晶圆厂内高效协作,形成一个智能化的物流系统。优艾智合等厂商通过软硬结合的系统实现了多机器人交互,推动了EAP和MCS等系统的有效对接,进一步提升了晶圆厂的智能化水平。

随着市场需求和技术的不断进步,第四代AMR的发展方向指向了群体智能和极致单品。在硬件层面,将追求多维精度控制融合和整机自由度融合控制等技术;在系统层面,强调全栈系统的强耦合,以实现智能工厂中各系统的紧密联动。

结论来看,AMR从简单的移动设备发展成为具备集群柔性高级系统,其角色在晶圆厂中将愈发关键。第四代AMR的发展将助力晶圆厂自动化迈向新篇章,为智能工厂的建设提供坚实基础。

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【原文作者】 半导体行业观察
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