标签：纳米压印

替代DUV，光芯片赛道迎来国产首台纳米压印光刻机

随着半导体制造制程微缩面临经济学瓶颈，纳米压印光刻正成为深紫外和极紫外光刻机的强有力互补路线。璞璘科技向深圳力策科技交付了真空气压式晶圆级纳米压印...

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3小时前